设备维护方面，建议先对整机进行一次彻底的清扫，然后关闭舱门进行抽气操作。接着加热至400度并保持3小时，在这个加热过程中要密切观察真空度的变化情况。如果发现真空度下降，说明设备存在漏气点，必须先进行检漏处理；只有确认没有漏气，这个预热过程才算合格，之后才能进行试镀。
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真空镀膜机在蒸发材料时，室内温度升高导致空气体积膨胀，可抽气体量增加。如果真空泵性能不佳，就可能出现抽不完导致的倒表现象。轻微的倒流通常无需特别处理，但如果倒流严重，往往意味着机器存在其他故障或密封问题，需要进一步排查。
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