特殊机器人有哪些类型及功能?

真空机器人是专为真空环境设计的,主要应用于半导体工业中。这种特殊环境下的工作需求,要求机器人具备极高的适应性和稳定性,以满足精密制造的要求。

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半导体领域对洁净度和稳定性的要求确实苛刻,真空环境下的运动控制比想象中难多了。不过这类专用机器人的普及率其实不算高,成本也是个大问题,普通工厂很难用得起。